三代光刻机的最小工艺极限是130nm。
坦率讲,陈春仙怀疑过,他可能是外星人……
“别别别。”李建昆怕他又问东问西,赶紧岔开话题,绕着四代光刻机一边转着圈圈,一边作了解。
建昆给他们的还不是灵光乍现,而是或许唯一的标准答案。
不过,他似乎真没觉得辛苦、劳累,全身心投入,乐在其中。
“不。”李建昆说,“你超越了他们。”
李建昆递给老陈一個大拇哥,得亏他有点心理准备,始终关注着华夏硅谷公司这边光刻机的研发进度,否则陡然得知这个消息,难免要一蹦老高。
陈春仙当时极其惊诧,没想到建昆连激光都懂。
“最小工艺推进到了多少?”
我信你个鬼!反正吧,陈春仙发觉他越来越看不穿建昆,这人根本无法用言语来度量——
只有老天爷才知道,彼时实验室里,包括他在内的所有研究人员的震惊。
反正没有头绪嘛,抱着试一下的心态,他们听取建议,使用上193nmArF激光光源。
李建昆早评价过,老陈是一位难得的科研天才,却不适合做一名企业家,实验室才是他的领域和地盘,他的乐土。
“这台机子虽然是我带着团队干出来的,但我不敢说是我创造了它,建昆,首功还得颁给你呀。”
陈春仙的表情颇有些复杂。
“80nm。”
阿麦斯是八十年代哪一年推出的第四代光刻机,李建昆脑子里没有精确的信息,可以肯定的一点是:
老陈单手叉腰说:
“去年,我们制造出第三代光刻机,就技术层级来讲,已经和世界领先持平,仅仅是在尖儿尖儿上,有那么一丁点落后。
这个逼他要装,只能给他装去……
不似人类。
在此之前,无论光刻机技术如何发展,都是在第四代的基础上不断精进。
良久,二人又站在一起。
陈春仙问:“现在要公开吗?”
他有些顾忌。
就公司、个人和团队而言,他当然希望公开,那会收获无与伦比的荣誉。
但他又担心公开之后,引起某些国家的嫉妒和不满,从而产生一系列的连锁反应,比如在涉及光刻机的相关产业,实施更严苛的技术禁运——
建昆在特区搞芯片全产业链,这与他还息息相关。
“你以为我们不刺激他们,他们就不搞我们了?某些宵小亡我中华之心,始终不死。”
李建昆抬起右手,用力握成拳头。